丝袜国语对白刺激_久久国产无码_亚洲欧美日韩性爱一区精品_韩日综合视频_敏感水多啪啪视频_日本强伦姧人妻69影院_黄色三级网站_亚洲av片不卡无码dvd_国产成人精品嫩草影院_人妻超碰无码手机在线

這是描述信息
這是描述信息

厚度100mm!國(guó)產(chǎn)SiC又有突破!

  • 分類:新聞
  • 作者:
  • 來源:
  • 發(fā)布時(shí)間:2024-05-10 13:18
  • 訪問量:

【概要描述】

厚度100mm!國(guó)產(chǎn)SiC又有突破!

【概要描述】

  • 分類:新聞
  • 作者:
  • 來源:
  • 發(fā)布時(shí)間:2024-05-10 13:18
  • 訪問量:
詳情

4月26日,浙大杭州科創(chuàng)中心-乾晶半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室宣布,他們成功生長(zhǎng)出直徑為6英寸、厚度達(dá)100 mm的超厚碳化硅單晶!

 

 

聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室徐嶺茂研究員表示,“要知道碳化硅單晶的厚度一般約為15-30 mm,我們研究團(tuán)隊(duì)通過對(duì)碳化硅單晶生長(zhǎng)方法進(jìn)行重大改進(jìn),終于生長(zhǎng)出這個(gè)‘大塊頭’的碳化硅單晶!”

 

具體如何研制出這塊“超厚”的碳化硅單晶?聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室開展了“提拉式物理氣相傳輸法生長(zhǎng)超厚碳化硅單晶的研究”,針對(duì)性解決了晶體的溫度梯度和應(yīng)力控制等難題,具體來看:

● 通過提拉籽晶及已經(jīng)生長(zhǎng)的晶體,使晶體生長(zhǎng)面始終處于一個(gè)合適的徑向溫度梯度下,形成有利于降低晶體應(yīng)力的表面形態(tài);

● 同時(shí),維持晶體生長(zhǎng)面與粉料之間的合適軸向溫度梯度,防止隨著晶體厚度的增加導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)速率大幅下降;

● 采用提拉式物理氣相傳輸法,最終成功生長(zhǎng)出直徑為6英寸、厚度突破100 mm的碳化硅單晶。

a)提拉式物理氣相傳輸法生長(zhǎng)SiC單晶的示意圖;(b)100 mm厚半導(dǎo)體SiC單晶

 

測(cè)試加工而得的襯底片的結(jié)果顯示,該超厚碳化硅單晶具有單一的4H晶型(圖2a)、結(jié)晶質(zhì)量良好(圖2b),電阻率平均值不超過∼ 30 mΩ·cm。目前該研究團(tuán)隊(duì)已就相關(guān)工作申請(qǐng)了2項(xiàng)發(fā)明專利。

a)拉曼散射光譜;(b)(0004)面的X射線搖擺曲線

近年來,乾晶半導(dǎo)體在碳化硅單晶生長(zhǎng)方面“光速”取得多個(gè)技術(shù)突破:

● 2021年9月,成功長(zhǎng)出6英寸碳化硅單晶,并且實(shí)現(xiàn)了單晶生長(zhǎng)到晶片加工全線跑通;

● 2022年7月,成功生長(zhǎng)出了厚度達(dá)到50 mm的6英寸碳化硅單晶;

● 2023年5月,聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室采用PVT多段式電阻加熱策略成功研制出厚度達(dá)27毫米的8英寸n型碳化硅單晶錠,并加工獲得了8英寸碳化硅襯底片。

聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室表示,未來他們將繼續(xù)夯實(shí)針對(duì)半導(dǎo)體碳化硅單晶缺陷和雜質(zhì)的基礎(chǔ)研究,開發(fā)碳化硅單晶生長(zhǎng)的缺陷控制新工藝和摻雜新工藝,不斷提高超厚半導(dǎo)體碳化硅單晶的質(zhì)量。

注:僅供信息參考,如涉及侵權(quán),請(qǐng)聯(lián)系進(jìn)行刪除。

關(guān)于我們    |    產(chǎn)品中心    |    資質(zhì)榮譽(yù)    |     新聞資訊    |     聯(lián)系我們    |     招賢納士

公司郵箱:shsjzj@yeah.net 

設(shè)備銷售熱線:180-4988-9448 

耗材銷售熱線:189-1649-2998

地       址:上海市松勝路758號(hào)6幢2層

這是描述信息

版權(quán)所有◎2022 上海茸晶半導(dǎo)體科技有限公司   滬ICP備2022022529號(hào)-1   網(wǎng)站建設(shè):中企動(dòng)力 上海   SEO